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burkert 8711氣體質(zhì)量調節器
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寶得8711氣體質(zhì)量調節器(MFC)工作原理:
型號 8711 是一臺用于調節氣體質(zhì)量流量的裝置,適合工藝技術(shù)領(lǐng)域內大多數的用途。在數字的電子調節設備中,會(huì )將以硅芯片為基礎的傳感器(參見(jiàn)第 2 頁(yè)的描述)提供的數值,與規定的額定值進(jìn)行比較;存在調節偏差時(shí),會(huì )通過(guò)一種 PI 調節算法對發(fā)送到比例閥上的調節參數進(jìn)行修改,由此補償調節偏差。因為傳感器直接處于氣流中,所以測量反應時(shí)間非常短。質(zhì)量流量可以保持在一個(gè)確定的數值上,或遵循規定的額定值曲線(xiàn)輪廓,而不會(huì )受到壓力波動(dòng)或設備中其他變化的影響??舍槍煞N不同的氣體對型號 8711 進(jìn)行校準,用戶(hù)可在兩者之間進(jìn)行轉換。一個(gè)直動(dòng)式比例閥作為調節元件,確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節特性。典型的用途是,在以下領(lǐng)域中進(jìn)行氣體計量或配制混合氣體:試驗臺、生物反應堆、熱處理、材料涂層、燃燒器控制以及燃料電池技術(shù)。
burkert 8711 氣體質(zhì)量流量計特點(diǎn)
采用 MEMS 技術(shù)的直接流量測量裝置,適合額定流量范圍 10 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
高精度和高重復精度
調整時(shí)間短
可選的現場(chǎng)總線(xiàn)